金剛石線切割機(jī)配置了更為精密的數(shù)控系統(tǒng),具備先進(jìn)合理的工藝控制和切割線張力控制與監(jiān)測系統(tǒng)。將線速度提高到1000m/min以上;進(jìn)給速度提高到1-5mm/min;生產(chǎn)效率提高了2-3倍。
金剛石切割線技術(shù)作為新的切割技術(shù),有著提高切割出片率、降低硅片損耗、降低污水排放等優(yōu)勢,可以大幅降低硅片生產(chǎn)商的成本,目前金剛石切割線技術(shù)正在硅片生產(chǎn)行業(yè)中逐步取代老式的砂漿切割技術(shù)。
金剛石線切割機(jī)在使用前需做好下面這些準(zhǔn)備:
一:檢查
1.1檢查設(shè)備周邊環(huán)境是否安全;
1.2檢查壓縮空氣是否正常;
1.3檢查設(shè)備潤滑油杯是否有油;
1.4檢查水箱是否有冷卻切削液;
1.5搖動設(shè)備各運動部件手柄是否正常;
1.6檢查工具、工裝是否齊備并狀態(tài)良好。
二:開機(jī)
2.1啟動設(shè)備控制總電源;
2.2啟動設(shè)備加工程序編制電腦;
2.3打開水泵開關(guān),檢查切削液循環(huán)系統(tǒng)是否正常;
2.4檢查貯絲筒,看是否能夠正常運轉(zhuǎn);此項檢查必須在貯絲筒無繞線的前提下進(jìn)行,或金剛石線正常繞制在貯絲筒上并緊固時進(jìn)行檢查;
2.5打開HF線切割編程一體化軟件,做好編程準(zhǔn)備。
三:上線
3.1調(diào)整貯絲筒使之向貯絲筒調(diào)節(jié)手柄方向移動,使貯絲筒上靠近手柄的緊固螺釘與設(shè)備下部兩導(dǎo)線輪,盡可能在同一條直線上;
3.2將上線車的電鍍金剛石線繞在設(shè)備貯絲筒上(繞制約120米),通過張緊輪張緊金剛石線,緊固電鍍金剛石線在貯絲筒上;
3.2松開貯絲筒靠近手柄方向的緊固螺釘,將貯絲筒上金剛石線繞制導(dǎo)線輪上,導(dǎo)線輪繞制方向,繞制后線頭繼續(xù)緊固在貯絲筒螺釘上,調(diào)整貯絲筒上金剛石線匝間距,確保每匝互不壓線,使用氣缸張緊金剛石線,氣壓表調(diào)制3.5MPA;
3.3調(diào)整金剛石線切割機(jī)貯絲筒限位開關(guān),確保貯絲筒運動時兩邊均有5-10匝的安全距離,鎖死限位開關(guān)移塊螺釘;
3.4將貯絲筒擋板放置在位置。
四:裝夾
4.1將工件及工裝的兩接觸面清洗干凈,將工件放置在工裝上,工件定位面與工裝圓盤接觸,使用尺寸調(diào)整工裝與工件大致同心,螺釘與工件之間用毛氈與鋼板墊層(相互接觸順序為:工件、毛氈、鋼板、螺釘),鎖緊工裝裝夾螺釘;
4.2將502膠水滴入工件與工裝接觸面;
4.3待膠水粘接牢固后將工裝與數(shù)控轉(zhuǎn)盤鏈接,鎖緊鏈接螺釘;
4.3移動料落保護(hù)裝置,使料落保護(hù)裝置不與工件旋轉(zhuǎn)及設(shè)備導(dǎo)線輪發(fā)生干涉的情況下,無限接近于工件,固定鎖緊料落保護(hù)裝置;
4.4手動設(shè)備X、Y軸手柄,使金剛石線與工件切割處盡可能接近而不接觸,調(diào)整冷卻水管位置,使冷卻水良好進(jìn)入切割縫;
4.5將設(shè)備有機(jī)玻璃保護(hù)罩放置在工作臺上,確保穩(wěn)固;